Pokud jde o nizozemskou společnost ASML, každý ví, že je jediným dodavatelem litografických strojů EUV na světě a výroba procesů 7nm a nižších závisí na jejich vybavení. ASML však není jen mocný litografický stroj. Dnes představili další nový produkt - vícegenerační kontrolní stroj HMI první generace, HMI eScan1000, který je vhodný pro 5nm a pokročilejší procesy, čímž se kapacita zvýší o 600%.
S neustálým zlepšováním technologie procesu je výroba destiček stále složitější, což také způsobuje další chyby v destičce. HMI eScan1000 je detekční systém založený na technologii HMI multi-beam a uvnitř jsou také složité fotoelektrické subsystémy. Může generovat a řídit více elektronových paprsků, poté analyzovat kvalitu oplatky na základě zobrazování odraženého elektronového paprsku a má vysokorychlostní platformu pro kontrolu počtu testovaných oplatek a výpočetní systém pro zpracování dat elektronového paprsku.
Jednoduše řečeno, stroj HMI eScan1000 vyvinutý společností ASML je systém pro ověřování kvality destiček vyráběných pokročilými procesy. Čím je proces pokročilejší, tím důležitější je kontrolní systém. Jeho přesnost kontroly a propustnost určují efektivitu výroby.
Průlomem ASML HMI eScan1000 je to, že dokáže současně generovat a řídit devět elektronových paprsků, takže výrobní kapacita byla zvýšena o 600%, což může výrazně zkrátit dobu potřebnou pro analýzu kvality oplatky.
V současné době lze HMI eScan1000 použít pro testování destiček na pokročilých procesech 5nm a méně. Byl dodán zákazníkům za účelem testování a ověření. V budoucnu společnost ASML rovněž uvede do provozu další zařízení pro testování paprsků, aby splnila požadavky zákazníků na pokročilé procesy.